许多人会认为无尘室内不会有尘埃粒子的产生，在建造后就一直使用，并不懂得维护和保养无尘室，无尘室内的发尘量，有一部分是来自室内的机械设备自身所产生的尘埃，而在无尘室内可以考虑局部排风将室内的污染物排出室外。而工作人员在无尘室内走动也会给室内带来尘埃粒子，在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发尘绝对量也不断减少。室内维护结构表面发尘量，以地面为准，大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。

　　无尘室内之运转环境状况如温、湿度及微尘粒子数应每日定期量测，以确实掌握质量，若有数据异常，可立即做紧急处理。无尘室停止运转再开机要点管理：启动后立即进行微尘粒子之测试，须无尘室恢复稳定正常时再开始作业。表8为空调设备应检查之项目。